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晶圆搬送安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
晶圆搬送对应可使用FOUP(装载口)和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
人机工程学设计，操作方便
?可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
?分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。
晶圆搬送坚固、可靠和安全传送
?延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
?薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
?宏观观察位置的*化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式
高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。
晶圆搬送产品链接：
https://www.chem17.com/st342147/product_26915474.html